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蓝宝石抛光液配方技术研发外包服务
胡工
技术成熟等级：
配方研发周期：需评估样品
研发中心：江苏省苏州市
满意度：--------
蓝宝石抛光液配方技术研发外包服务外包服务
项目背景
LED是新一代，具有广阔应用前景的光源，世界各国都纷纷制定LED技术与产业发展计划。与发达国家相比，我国发展相对较迟，于2003年正式启动了“国家半导体照明计划”，三年后，我国科技部启动“半导体照明工程”863计划，推动了我国半导体照明产业的发展。在LED产业链中，N-型半导体（GaN）在蓝宝石衬底上的无缺陷生长，很大程度上依赖蓝宝石晶片的表面加工质量，但是，蓝宝石由于其硬度高、化学稳定性好，很难进行加工。为了获得无损伤表面，人们提出各种加工工艺以期待能够获得更高的加工速率、加工质量，降低加工成本。现阶段，在蓝宝石晶片的超精密加工中，以抛光最为常用。常见的抛光方法主要有机械抛光和化学抛光。其中机械抛光主要以硬质磨料来磨削，容易在晶面产生划痕等缺陷，目前已经较少使用。化学抛光是用抛光液中的化学物质与晶片表面发生化学作用，提高机械去除的效率和抛光质量，现已成为半导体加工行业的主导技术。
产品名称： 蓝宝石抛光液（配方服务） 产品主要用途：金属加工 出具报告：禾川化学检测报告 
应用领域
蓝宝石抛光液主要用于蓝宝石衬底的抛光。还可广泛用于多种材料纳米级的高平坦化抛光，如：硅片、化合物晶体、精密光学器件、宝石等的抛光加工。 
实例照片
组分
质量百分比
二氧化硅
30~40
氢氧化钠（氢氧化钾）
0~1
无机盐（1种或多种）
0~1
无机碱/有机碱（一种或多种）
0~1
络合剂(醋酸钠)
0~1
缓蚀剂(BTA)
0~1
表面活性剂或分散剂
0~1
稳定剂(聚乙二醇)
0~1
水
余量
为保护核心技术资料的机密性，数据已经过修改处理，仅供参考。本单位对直接照搬配方数据带来的损失，不负法律责任；如有技术需求直接联系我中心技术专员400-660-8959
物理指标
序号
项 目
指 标
1
外 观
乳白色液体
2
固含量
40-45%
3
pH
9~11
4
比重
1.6-2.2
5
建议工作温度
30-50oC
项目特点
1)抛光液颗粒分散均匀，不团聚，有效避免抛光过程中由于颗粒团聚导致的工件表面划伤缺陷； 2)抛光液颗粒粒径分布窄，最大程度提升抛光速度，抛光效率更高；
3)抛光后无明显划痕、凹坑、斑点等缺陷，平均粗糙度低；
4)可以循环使用，循环时只需适时调节pH值；
5)抛光后无结晶，易清洗；
6)抛光过程无粉尘产生，环保安全。
项目开发价值
1）技术难点 a.如何提高磨料的分散能力，使分散均匀，防止快速沉降、团聚；
b.如何选取合适的磨料，减少抛光过程中出现划痕，明显改善抛光后硅片表面质量，降低表面粗糙度；
c.如何防止加工过程中金属离子对半导体芯片的危害，提高抛光后产品的成品率；
d.如何控制化学腐蚀作用与机械磨削作用达到一种平衡，防止抛光片表面产生腐蚀坑、桔皮状波纹，或者机械磨削太强出现的表面损伤。
2）市场价值
a.近两年，随着国内研发力度的加大，已经可以研发出新的蓝宝石抛光液，一些真正的应用也刚开始尝试，因此有很大的研发发展空间；
b.该类型研磨抛光液涉及范围比较广，多数研磨抛光液的研发机构存在局部的问题，都还无法攻克难关，因此，该项目具有较高的开发价值；
c.禾川研发中心自主研发出的蓝宝石抛光液，化学腐蚀和研磨抛光相互补充，可以提高抛光后材料的表面性能，提高产品的成品率。
服务流程
联系方式
公司：苏州禾川化学技术服务有限公司
地址：苏州金鸡湖大道99号纳米城西北区NW-01幢3楼
电话：400-660-8959/0512-8219 0669
